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Moly Etchant
T

(TKMESD)
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FEATURES
Etching readily controlled with minimum undercutting-provides excellent definition
Compatible with Positive and negative photoresists.
Uniform etch rates and patterns.
Economical

DESCRIPTION
Moly Etchants (TKMESD basic formula :
Buffered, Mildly alkaline Ferricyanide.
Negative Photoresists (KPR, KMER, KTFR, etc.) 에 최적의 호환성.
High Resolution pattern.
Moly microelectronic circuit의 Photo Fabrication process에 대한 선택적 etch.
Negative Photoresist coating process를 통해 alumina와 다른 substrate위에 Thin Film에 정확한electrode와 resistor pattern을 형성.
전자/반도체급 고순도, Control uniform etch.
잘 환기된 장소에서 실온 사용.

MOLY ETCHANTS

Model	TKMESD
Appearance	Deep Brown Liquid
Etchant Type	Immersion(Dip) / Spray
Operating Temperature	30 - 40 ℃
Composition	Alkaline Ferricyanide Complex
Select Compatible Materials	Au, Ni, Cu, alumina
Select Incompatible Materials	Al, Si, Si-O
Etch Rate @ 30℃	55Å/sec
Time to etch 1 oz, copper	1 1/2 min
pH range	10
Storage Temp.	Ambient
Etch Capacity	30 gm/Gal
Shelf Life	1 year

Etch 호환성(Compatibility)

	TKMESD
Etch	Al	C	ZnO	Cr	Fe	GaAs	ZnO	W
No Etch(20:1 이상)선택성	Al2O3	Au	Co ,Cu	Nb,Mg	Pt,MgO	Ru,Ni	steel	Si3N4	Ti	Ta/TaN
Slight(20:1이하) 선택성	Si	SiO

APPLICATION
Moly/Tungsten Immersion Etchant (TKMESD)는 바로 사용할 수 있음.
Microelectronic/Nanoelectronic surface etch layered Moly etch.
Microelectronic/Nanoelectronic surface etch layered Moly camber/bath 를 장착한 장비 cleaning. Alumina,glass,substrate위에 thin film의 정밀한 electrode와 resistor pattern을 형성.
ETCHING TANK / EQUIPMENT/ Package
Packing : HDPE, glass, or epoxy-coated tanks.
Heaters may be quartz, carbon or titanium (nickel or cobalt-steel).
Unit :Galon(3.78 L) , 20 Liter.
DISPOSAL OF SPENT ETCHANT
사용된 etchant(TKMESD)는 승인된 시약 특성별 분리된 폐수 수집용기에 폐기. 사용된 etchant(TKMESD)는 탄산칼슘(calcium carbonate)으로 중화시킨 후 물로 희석.
하수구 무단 배출은 추천 않음. 배출은 유해화학물질 폐기에 관한 관련 법률에 따라 폐기.
사용된 etchant(TKCESD100)는 탄산칼슘(calcium carbonate)으로 중화시킨 후 물로 희석.
하수구 배출은 추천 않음.

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