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Titanium Etchant

(TKTESD)/(TKTEN6080)
T

FEATURES
Etching readily controlled with minimum undercutting provides excellent fine line definition.
Compatible with positive and negative photoresists.
Uniform etch rates and fine patterns.
Economical.

DESCRIPTION
Titanium Etchants (TKTESD) basic formula :
Hydrogen Fluoride solution.
Positive / Negative Photoresists 에 최적의 호환성.
Positive/Negative Photoresist coating process를 통해, alumina와 다른 substrate위에 Thin Film에
정확한 electrode와 resistor pattern을 형성.
Titanium microelectronic circuit의 Photo Fabrication process에 대한 선택적 etch.
High Resolution pattern.
전자/반도체급 고순도, Control Uniform etch.
잘 환기된 장소에서 실온 사용.

Titanium Etchants

Model	TKTESD	TKTEN6080
Appearance	Clear Aqueous Liquid	Clear Aqueous Liquid
Etchant Type	Immersion(Dip) / Spray	Immersion(Dip) / Spray
Operating Temperature	20 - 50 ℃	60 - 85 ℃
Ventilation	Hood Recommended	Hood Recommended
Agitation	Agitation speed로 Etch rate 가속	Agitation speed로 Etch rate 가속
Etch Rate	25 Å/sec @ 25℃	10 Å/sec @ 70℃
Composition	HF compound solution	None HF compound solution
pH range	1 이하	1 이하
Shelf Life	1 year	1 year
Resist Compatibility	Negative & Positive	Negative & Positive
Select Incompatible materials	Glass	Distilled, Deionized Water
Storage Temp.	직사광선 피하고 Room Temperature, Sealing, ventilated 공간에서 Open
Toxicity	Strong Acid	Strong Acid
Etch capacity gm/gal

Metal Etch 호환성(Compatibility)

	TKTESD
Etch	Al	Al2O3	Co	Mg	MgO	Nb	SiO2	Si3N4	ZnO	Ti
No Etch(20:1 이상)선택성	Cu	Au	Fe	Cu	GaAs	Ni, Pd	Ru, Pt	Si, W	Steel	Ta/TaN
Slight(20:1이하) 선택성	C

	TKTEN6080
Etch	Al	Cr	Co	Mg/Fe	MgO	Steel	Ti	Fe	ZnO	GaAs
No Etch(20:1 이상)선택성	C	Au	Al2O3	Nb	Ru	Pt	SiO2	Si, W	Ta/TaN	Si3N4
Slight(20:1이하) 선택성	Cu	Ni	Pd

APPLICATION
Titanium Immersion Etchant (TKTESD)는 바로 사용할 수 있음. Microelectronic/Nanoelectronic surface etch layered Titanium chamber/bath 를 장착한 장비 cleaning. Microelectronic/Nanoelectronic surface에 bonding , barrier layer 증착된 thin film Titanium Etch. TKTESD는 Cu, Au, Ni, substrate위에 특히 전기 도금된 Ti를 제거
전자/반도체급 고순도, No Cyanide chemistry. 잘 환기된 장소에서 실온 사용.

ETCHING TANK / EQUIPMENT/ PACKAGE
Packing : HDPE, glass, epoxy-coated tanks. Heater : quartz, carbon , titanium (nickel or cobalt-steel). Packing Unit :Galon(3.78 L) , 20 Liter.

DISPOSAL OF SPENT ETCHANT
사용된 etchant(TKTESD)는 승인된 시약 특성별 분리된 폐수 수집용기에 폐기. 승인된 시약 특성별 분리된 폐수 수집용기에 폐기 . 하수구 무단 배출은 추천 않음. 배출은 유해화학물질 폐기에 관한 관련 법률에 따라 폐기.

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